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技術(shù)文章

1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐

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產(chǎn)品概述:

AFD-1400-60三溫區(qū)真空氣氛管式爐以硅碳棒為發(fā)熱元件;雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu);高純氧化鋁纖維真空吸附次成型;高密度硅碳棒真空擠壓成型;剛玉管外徑為60、80mm。三個溫區(qū)分別由三個獨立的溫控系統(tǒng)來控制且都為PID30段程序化控溫。可通過調(diào)節(jié)三個溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場形成溫度梯度,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3 Pa,此系列真空氣氛管式爐可以用CVD或PVD方法來生長納米材料和制作各種薄膜。

主要用途:
AFD-1400-60三溫區(qū)真空氣氛管式爐是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品. ,廣泛用于電子陶瓷產(chǎn)品的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫?zé)峤獾蜏爻练e(CVD)工藝等。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐

產(chǎn)品型號

AFD-1400-60

工作溫度

1300℃

高溫度

1400℃

爐管尺寸

 Φ60mmX1000mm 

樣品規(guī)格

外型尺寸:860×470×720mm   (更多規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制)

溫控系統(tǒng)

溫控方式:三個溫控系統(tǒng)單獨控制,都是采用PID方式調(diào)節(jié)30段可編程自動控制;

溫控保護(hù)

具有超溫及斷偶報警功能

溫控度

± 1℃

加熱速率

0~20 ℃ / 分

溫區(qū)長度


每個加熱區(qū)200 mm包括20mm間距,總溫區(qū)長度: 600 mm 

真空密封系統(tǒng)

儀器標(biāo)配中有套不銹鋼真空密封法蘭,出氣和進(jìn)氣端都安裝有不銹鋼截止閥,真空度:10-2 torr (用機(jī)械泵 );10-5 torr(用分子泵 )

加熱元件

1500ºC硅碳棒 

工作電壓

AC 220V 單項 50 Hz

大功率

10KW

氣  密  性

4.03×10-3Pa

測溫元件

S型單鉑銠熱電偶測溫

凈        重

160 Kg

爐        管

高純度剛玉管

爐殼溫度

≤45℃   

提供相關(guān)配件

真空泵、真空法蘭、真空表、塞磚

電氣認(rèn)證

CE認(rèn)證

售后服務(wù)

12個月質(zhì)保、終身保修

 

聯(lián)


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